--- 产品参数 ---
- 注释 如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
--- 产品详情 ---
中图仪器VT6000系列共聚焦显微镜粗糙度检测仪在材料生产检测领域中,可测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
产品功能
(1)设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能;
(2)设备具备自动拼接功能,能够快速实现大区域的拼接缝合测量;
(3)设备具备一体化操作的测量与分析软件,预先设置好配置参数再进行测量,软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能,即可快速实现批量测量功能;
(4)设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能;
(5)设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;
(6)设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能,可实现批量数据文件的快速分析功能;
VT6000系列共聚焦显微镜粗糙度检测仪是以共聚焦威廉希尔官方网站 为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量。
应用领域
对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
应用范例:
应用场景
1、镭射槽
测量晶圆上激光镭射槽的深度:半导体后道制造中,在将晶圆分割成一片片的小芯片前,需要对晶圆进行横纵方向的切割,为确保减少切割引发的崩边损失,会先采用激光切割机在晶圆表面烧蚀出U型或W型的引导槽,在工艺上需要对引导槽的槽型深宽尺寸进行检测。
2、光伏
在太阳能电池制作工程中,栅线的高宽比决定了电池板的遮光损耗及导电能力,直接影响着太阳能电池的性能。共聚焦显微镜可以对栅线进行快速检测。此外,太阳能电池制作过程中,制绒作为关键核心工艺,金字塔结构的质量影像减反射焰光效果,是光电转换效率的重要决定因素。共聚焦显微镜具有纳米级别的纵向分辨能力,能够对电池板绒面这种表面反射率低且形貌复杂的样品进行三维形貌重建。
3、其他
部分威廉希尔官方网站 指标
型号 | VT6100 | |
行程范围 | X | 100mm |
Y | 100mm | |
Z | 100mm | |
外形尺寸 | 520*380*600mm | |
仪器重量 | 50kg | |
测量原理 | 共聚焦光学系统 | |
显微物镜 | 10×;20×;50×;100× | |
视场范围 | 120×120 μm~1.2×1.2 mm | |
高度测量 | ||
宽度测量 | ||
XY位移平台 | 负载 | 10kg |
控制方式 | 电动 | |
Z0轴扫描范围 | 10mm | |
物镜塔台 | 5孔电动 | |
光源 | 白光LED |
恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。
如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
为你推荐
-
中图表面粗糙度轮廓仪品牌2024-02-02 09:20
产品型号:SJ5730系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
中图白光干涉仪测粗糙度2024-02-02 09:17
产品型号:SuperViewW系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
中图三坐标测量仪器2024-02-02 09:15
产品型号:Mars系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
加工中心三坐标测量仪器2024-01-30 15:27
产品型号:Mars系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
中图仪器一键式图像尺寸测量仪2024-01-26 10:57
产品型号:VX8000系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
3d白光形貌干涉仪2024-01-24 10:31
产品型号:SuperViewW1 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
中图移动三坐标测量仪2024-01-23 09:33
产品型号:Mars系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
一键式测量仪影像尺寸测量仪2024-01-23 09:31
产品型号:VX8300 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
全自动影像仪高精度影像测量仪器2024-01-23 09:29
产品型号:Novator系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。 -
三坐标测量机中图仪器2024-01-12 11:39
产品型号:Mars系列 注释:如有疑问或需要更多详细信息,请随时联系中图仪器咨询。
-
显微测量|共聚焦显微镜大倾角超清纳米三维显微成像2024-02-18 10:53
-
显微测量|台阶仪二维超精密测量微观形貌2024-02-18 10:51
-
工业生产中的三坐标测量机,到底有什么用?2024-02-02 09:10
-
国产三坐标测量机|中图仪器全自主研发,实现高精度三维尺寸测量2024-02-01 10:49
-
数控测量|一文读懂中图仪器在机检测与机床校准补偿系统2024-01-31 09:15
-
激光跟踪仪|国产6D跟踪仪测量大尺寸空间姿态2024-01-31 09:14
-
央视授奖!从纳米到百米,“专精特新•年度高人”花落中图仪器2024-01-30 15:24
-
助力科研|光学3D表面轮廓仪服务超精密抛光威廉希尔官方网站 发展2024-01-30 15:21
-
轮廓测长|中图仪器SJ57系列轮廓仪高精度测量粗糙度2024-01-29 09:20
-
闪测影像|中图仪器智能影像测量仪高精度快速批量检测2024-01-29 09:18
-
轮廓测长|中图仪器SJ51系列测长机实现高精度二维长度测量2024-01-25 15:37
-
显微测量|中图仪器显微测量仪0.1nm分辨率精准捕捉三维形貌2024-01-25 15:34
-
VX9000系列光学扫描成像测量机,满足PCB行业多样化尺寸测量需求2023-12-01 09:29
-
激光干涉仪检测机床的方法(以线性检测为例)2023-10-27 15:21
-
白光干涉仪(光学轮廓仪):揭秘测量坑的形貌的利器!2023-10-26 10:47
-
纳米级测量仪器:窥探微观世界的利器2023-10-11 13:49
-
微纳共聚焦显微镜:检测摩擦学研究的重难点2023-09-22 09:13
-
先进封装厂关于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26
-
飞拍测量|Novator系列影像仪大幅提升半导体模具测量效率2023-09-06 14:23
-
数控机床测头提升新能源汽车部件加工良品率2023-09-06 14:20