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微机电系统（MEMS， Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。微机电系统是在微电子威廉希尔官方网站 （半导体制造威廉希尔官方网站 ）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等威廉希尔官方网站 制作的高科技电子机械器件。微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新威廉希尔官方网站 ，广泛应用于高新威廉希尔官方网站 产业，是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键威廉希尔官方网站 。
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