尽管ASML作为目前占据主导地位的光刻机厂商,凭借独有的EUV光刻机一骑绝尘,主导着半数以上的市场份额,但这并不代表着其他光刻机厂商也就“听天由命”了。以两大国外光刻机厂商尼康和佳能为例,他们就仍在坚持开发并扩展自己的光刻机业务。
尼康
尼康的光刻机产品阵容比较全面,包括ArF浸没式扫描光刻机、ArF步进扫描光刻机、KrF扫描光刻机、i线步进式光刻机和FPD面板光刻机,基本涵盖了除EUV以外的主流光刻机。其中最新的NSR-S635E为ArF浸没式扫描光刻机,可以做到小于等于38nm的分辨率,1.35的数值孔径和大于275晶圆/小时的吞吐量。
NSR-S635E光刻机 / 尼康
虽然这样的机器在分辨率上与ASML的EUV光刻机还存在着不小的差距,但已经足以覆盖不少成熟工艺的晶圆制造,以及部分次先进节点的辅助制造了。而在去年的SPIE先进光刻机威廉希尔官方网站 会议上,尼康展示了名为双光束EUV光刻威廉希尔官方网站 。
虽然仍在概念阶段,但从论文上看基于该威廉希尔官方网站 打造的光刻系统可以做到10nm的分辨率,0.4的数值孔径和200晶圆/小时以上的吞吐量,这样的参数甚至可以与ASML正在制造的高NA EUV光刻机一较高下了。不过要想造出这样的机器光有概念可不够,与之相关的元件与设备生态都得建立起来才行。
从尼康最新季度的财报来看,由于工厂建设的投入被推迟,FPD光刻系统市场有所下滑,所以销量有所降低,上季度只卖出了6台FPD光刻机,6台i线光刻机、1台KrF光刻机和1台ArF浸没式光刻机。由于ArF光刻机仍有着较为强劲的需求,所以尼康仍然看好这一市场的未来趋势,目前核心客户因为人员短缺或能源供应等问题,只是在交付上有所推迟。所以哪怕是半导体市场有些许低迷,尼康也并没有任何订单因此被取消。
值得一提的是,虽然尼康本身目前并没有生产EUV光刻机,却有为EUV系统生产光学组件的。不过与EUV光刻机本身一样,EUV的光学组件拥有极长的交期。除EUV系统以外,一些先进测量设备、先进封装设备用到的光学组件同样是高附加值、长交货周期的产品,即便半导体市场增速减缓,也不太会受到设备厂商资本支出变化的影响。
佳能
对于佳能来说,光刻机业务隶属于他们的工业与其他事业部,除了光刻机以外还有贴片机等设备。但从具体数额看来,佳能的主要营收来源还是他们的印刷和影像部门,包括打印机、数码相机等等,从2021年的年报来看,两部门分别贡献了55.2%和18.6%的营收。
FPA-6300ES6a光刻机 / 佳能
佳能与尼康一样,同样拥有影像和光刻机两大业务,但在光刻机上,佳能的主要产品是i线和KrF光刻机,其中主打高分辨率高产量的KrF扫描光刻机FPA-6300ES6a可以做到小于等于90nm的分辨率。虽然分辨率不高,但佳能正在以纳米压印威廉希尔官方网站 打造下一代nm级的光刻机,以该威廉希尔官方网站 打造的光刻系统制造成本将比EUV低40%,同时将运行功耗90%。不过这类设备目前仍在研发中,从目前已经展示的结果来看,还只能做到10nm工艺的图形化。
而今年的第三季度,佳能的光刻系统营收相较去年同比增长了22.9%,达到645亿日元,主要来自50台半导体光刻机、15台FPD光刻机的销量。佳能预计将在今年卖出180台半导体光刻机,52台FPD光刻机。
在财报中,佳能指出,2022年的半导体设备市场中,虽然存储市场有所下滑,但功率设备和逻辑设备的需求依然在强劲增长。与此同时,佳能计划在宇都宫扩建一座新的光刻机工厂,用于加倍产能,进一步扩大在半导体光刻机市场的份额。
至于面板市场,由于全球通胀和经济下行等原因,PC、电视和智能手机的销量下滑,全球市场相较去年会有所下滑。但佳能认为,从中长期角度来看,被用于各种产品中的OLED面板势必会带来显著的增长。不过佳能面临的处境还是组件短缺和客户延迟工厂建设,所以部分FPD光刻机的交付都被推迟到了明年。
小结
从尼康和佳能两家的财报来看,他们都没有屈服于ASML可怕的实力,仍在积极推动DUV光刻机、FPD光刻机的销售和交付,与此同时也都在低调地进行着下一代光刻系统的研究。对于整个半导体产业来说,有更多的厂商来搅局也未免不是一件好事。
尼康
尼康的光刻机产品阵容比较全面,包括ArF浸没式扫描光刻机、ArF步进扫描光刻机、KrF扫描光刻机、i线步进式光刻机和FPD面板光刻机,基本涵盖了除EUV以外的主流光刻机。其中最新的NSR-S635E为ArF浸没式扫描光刻机,可以做到小于等于38nm的分辨率,1.35的数值孔径和大于275晶圆/小时的吞吐量。
NSR-S635E光刻机 / 尼康
虽然这样的机器在分辨率上与ASML的EUV光刻机还存在着不小的差距,但已经足以覆盖不少成熟工艺的晶圆制造,以及部分次先进节点的辅助制造了。而在去年的SPIE先进光刻机威廉希尔官方网站 会议上,尼康展示了名为双光束EUV光刻威廉希尔官方网站 。
虽然仍在概念阶段,但从论文上看基于该威廉希尔官方网站 打造的光刻系统可以做到10nm的分辨率,0.4的数值孔径和200晶圆/小时以上的吞吐量,这样的参数甚至可以与ASML正在制造的高NA EUV光刻机一较高下了。不过要想造出这样的机器光有概念可不够,与之相关的元件与设备生态都得建立起来才行。
从尼康最新季度的财报来看,由于工厂建设的投入被推迟,FPD光刻系统市场有所下滑,所以销量有所降低,上季度只卖出了6台FPD光刻机,6台i线光刻机、1台KrF光刻机和1台ArF浸没式光刻机。由于ArF光刻机仍有着较为强劲的需求,所以尼康仍然看好这一市场的未来趋势,目前核心客户因为人员短缺或能源供应等问题,只是在交付上有所推迟。所以哪怕是半导体市场有些许低迷,尼康也并没有任何订单因此被取消。
值得一提的是,虽然尼康本身目前并没有生产EUV光刻机,却有为EUV系统生产光学组件的。不过与EUV光刻机本身一样,EUV的光学组件拥有极长的交期。除EUV系统以外,一些先进测量设备、先进封装设备用到的光学组件同样是高附加值、长交货周期的产品,即便半导体市场增速减缓,也不太会受到设备厂商资本支出变化的影响。
佳能
对于佳能来说,光刻机业务隶属于他们的工业与其他事业部,除了光刻机以外还有贴片机等设备。但从具体数额看来,佳能的主要营收来源还是他们的印刷和影像部门,包括打印机、数码相机等等,从2021年的年报来看,两部门分别贡献了55.2%和18.6%的营收。
FPA-6300ES6a光刻机 / 佳能
佳能与尼康一样,同样拥有影像和光刻机两大业务,但在光刻机上,佳能的主要产品是i线和KrF光刻机,其中主打高分辨率高产量的KrF扫描光刻机FPA-6300ES6a可以做到小于等于90nm的分辨率。虽然分辨率不高,但佳能正在以纳米压印威廉希尔官方网站 打造下一代nm级的光刻机,以该威廉希尔官方网站 打造的光刻系统制造成本将比EUV低40%,同时将运行功耗90%。不过这类设备目前仍在研发中,从目前已经展示的结果来看,还只能做到10nm工艺的图形化。
而今年的第三季度,佳能的光刻系统营收相较去年同比增长了22.9%,达到645亿日元,主要来自50台半导体光刻机、15台FPD光刻机的销量。佳能预计将在今年卖出180台半导体光刻机,52台FPD光刻机。
在财报中,佳能指出,2022年的半导体设备市场中,虽然存储市场有所下滑,但功率设备和逻辑设备的需求依然在强劲增长。与此同时,佳能计划在宇都宫扩建一座新的光刻机工厂,用于加倍产能,进一步扩大在半导体光刻机市场的份额。
至于面板市场,由于全球通胀和经济下行等原因,PC、电视和智能手机的销量下滑,全球市场相较去年会有所下滑。但佳能认为,从中长期角度来看,被用于各种产品中的OLED面板势必会带来显著的增长。不过佳能面临的处境还是组件短缺和客户延迟工厂建设,所以部分FPD光刻机的交付都被推迟到了明年。
小结
从尼康和佳能两家的财报来看,他们都没有屈服于ASML可怕的实力,仍在积极推动DUV光刻机、FPD光刻机的销售和交付,与此同时也都在低调地进行着下一代光刻系统的研究。对于整个半导体产业来说,有更多的厂商来搅局也未免不是一件好事。
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