TCAD基础知识介绍

TCAD相信很多人都用过，很多人说做工艺指导还行，信它就可能把片子玩飞了。TCAD在工艺仿真上有它一定的局限性，毕竟工艺过程总环境、物料、人的影响很大。作为器件仿真还是值得学习一下。

TCAD就是Technology Computer Aided Design，指半导体工艺interwetten与威廉的赔率体系 以及器件模拟工具，世界上商用的TCAD工具有Silvaco公司的Athena和Atlas，Synopsys公司的TSupprem和Medici以及ISE公司（已经被Synopsys公司收购）的Dios和Dessis 以及Crosslight Software公司的Csuprem和APSYS。此外还有维也纳TCAD GlobalSolution公司的TCAD套件，以及新加坡Cogenda公司的VisualTCAD套件。

TCAD流程：

怎么设计元件，怎样做元件的模拟？

第一条路：DeckBuild －＞ command file －＞device simulator

第二条路：process simulator －＞structure files －＞device simulator

使用TCAD原因：

减少开发成本：ITRS roadmap表明，TCAD仿真可以将开发周期的成本降低30％左右。

内部物理过程可视化：你可以看到设备内部。测量告诉你发生了什么，而不是为什么它发生，TCAD提供了为什么答案。

谁用TCAD ：

Foundries 和 Integrated Device Manufacturers